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專業(yè)生產、研究及開發(fā)各類光學檢測儀器和激光干涉儀企業(yè)

光學檢測儀和激光干涉儀

角錐棱鏡角度誤差測量

一、角錐棱鏡的光學原理




        進入角錐的一束平行光線,經(jīng)三個直角面的兩兩反射后,將分成由不同反射次序 所決定的六束光線,只要角錐棱鏡是理想的,則此六束光線都將與原入射光線嚴格平 行且反向,即反射光將沿原入射光原路返回。這里所謂的理想角錐棱鏡,除材料 必須均勻且各向同性之外,直角面的平面度及直角面之間的 90°夾角都必須保證。



二、測量角度經(jīng)典光學方法以及局限性


       光學測角方法由于具有非接觸、高準確度和高靈敏度的特點而倍受人們的重視,尤其是穩(wěn)定的激光光源的發(fā)展使工業(yè)現(xiàn)場測量成為可能,因此使光學測角法的應用越來越廣泛,各種新的光學測角方法也應運而生。


(一)在高精自準直儀上批量檢測角錐棱鏡角偏差

       自準直法就是在光學上使物體和像分別位于共軛面上。當物體發(fā)生轉動時,物體在像面上所成得到像點也隨之發(fā)生移動,以光束投射到被測物體上,通過測量像點的移動量便可以求出物體轉動角度。


       自準直法原理簡單,操作方便,然而測量的分辨率與焦距有關,如果需要較高分辨率勢必會造成儀器笨重以及所占空間增大的問題。


(二)光學內反射法

        光從光密介質轉到光疏介質,當入射角大于臨界角時,會發(fā)生全反射現(xiàn)象,從而造成反射光強度的變化,利用全反射條件下,入射角度變化時反射光強的變化關系來測量入射角的變化。


       此方法可以實現(xiàn)高精度測量,但測量范圍較小,只能對小角度進行測量。為了解決以上問題,激光干涉法橫空出世,在高精度測量角度的同時,保證了測量儀器的小巧以及占用空間的減少。


三、數(shù)字波面干涉儀測量元件角度偏差

    

      


       測試光束經(jīng)過角錐后,光線原路返回,若角錐棱鏡的三個二面角不存在誤差時,出射光線與入射光線嚴格平行,反射光生成六束平面波且在同一平面內,而當存在誤差時,六束平面波將不再同一平面,而是相互有一定夾角。該夾角經(jīng)過軟件的算法可以計算得到。



      測量結果中,1-6區(qū)為平行光進入角錐后的反射光,,將角錐分為6個區(qū)域,通過計算反射回來的平面波面之間的平面夾角,可以間接計算出各區(qū)域之間的偏離角。而1-2或4-5偏差等部分則說明了角錐三個面之間的夾角。



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