光學(xué)檢測(cè)儀和激光干涉儀
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衍射極限(diffraction limit)是指一個(gè)理想物點(diǎn)經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)成像,由于衍射的限制,不可能得到理想像點(diǎn),而是得到一個(gè)夫瑯禾費(fèi)衍射像。因?yàn)橐话愎鈱W(xué)系統(tǒng)的口徑都是圓形,夫朗和費(fèi)衍射像就是所謂的艾里斑。這樣每個(gè)物點(diǎn)的像就是一個(gè)彌散斑,兩個(gè)彌散斑靠近后就不好區(qū)分,這樣就限制了系統(tǒng)的分辨率,這個(gè)斑越大,分辨率越低。
衍射極限限制了系統(tǒng)的分辨率。對(duì)于一個(gè)系統(tǒng)來講,其衍射極限是某一個(gè)定值,是由于光的衍射造成的物理光學(xué)上的限制,跟成像系統(tǒng)的像差沒有關(guān)系,無像差系統(tǒng)其衍射極限依然存在。
描述衍射極限的公式是:
其中,θ是角分辨率,λ是波長(zhǎng),D是光圈直徑。當(dāng)θ很小時(shí),sinθ約等于θ,約等于d/f其中d是最小分辨尺寸,f是焦距。
可以推導(dǎo)出:
對(duì)于理想的光學(xué)系統(tǒng),物點(diǎn)對(duì)應(yīng)完美的像點(diǎn)。但是,無論透鏡性能校正得多好,實(shí)際光波都會(huì)從通光孔徑的邊緣處衍射,從而導(dǎo)致像點(diǎn)模糊。這就是衍射模糊或艾里斑,其強(qiáng)度分布和外形如下圖所示。
艾里斑的強(qiáng)度分布和外形
因?yàn)槟:睆胶筒ㄩL(zhǎng)成正比,所以衍射效應(yīng)可能經(jīng)常成為紅外系統(tǒng)的限制因素。如果透鏡的通光孔徑為圓形,那么像點(diǎn)有84%的能量分布于中心亮斑,即艾里圖案中第一個(gè)暗環(huán)包圍的面積。中心亮斑的直徑根據(jù)下式計(jì)算:
對(duì)于工作波長(zhǎng)為10 μm、f/#等于2的長(zhǎng)波紅外系統(tǒng),中心亮斑的直徑為48.8 μm。在通過減小焦平面中的像素來提高系統(tǒng)分辨率時(shí),也要注意波長(zhǎng)的限制。雖然第二個(gè)暗環(huán)直徑為第一個(gè)暗環(huán)的兩倍,但兩個(gè)暗環(huán)之間的能量只占總能量的7%。由于中心亮斑外的能量非常分散,相鄰探測(cè)元件之間可能形成串?dāng)_。
當(dāng)兩個(gè)點(diǎn)的圖像間隔足夠大,可以被清晰地識(shí)別成兩個(gè)點(diǎn),此時(shí)我們認(rèn)為它們是可分辨的,并且經(jīng)常采用艾里圖案第一個(gè)暗環(huán)的半徑作為可分辨的最小間隔。這就是瑞利判據(jù)。
瑞利分辨率判據(jù)
這一現(xiàn)象用傅立葉分析理論可解釋為:攜帶物體信息的入射光波的傅立葉分量中,較大的橫向分量對(duì)應(yīng)著高頻成分,代表著物體的細(xì)節(jié)部分;但含高頻橫向分量的光波因滿足公式:
其中kx、ky 為波矢量K在x和y方向分量,ω為光波角頻率、c為光速,傳播方向?yàn)?/span>z軸。從而而成為倏逝波,倏逝波在傳播過程中因振幅呈指數(shù)衰減而無法到達(dá)像面,不能參與成像,造成物體細(xì)節(jié)部分的丟失,因而普通透鏡的成像總是有缺陷的。