一、前言

平行平板玻璃是指兩個(gè)表面是平面且互相平行的玻璃板（外觀如圖1所示）,其是常用的光學(xué)元件,例如,分劃板、保護(hù)玻璃﹑濾光片、干涉儀的分光鏡、補(bǔ)償鏡等。平行性誤差不僅會影響光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)性能,還影響光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量，所以很有必要對平行平板光學(xué)元件進(jìn)行平行性檢測。

圖1 平行平板元件

二、測量方法

由于平行平板光學(xué)元件存在平行性誤差角θ,因此,光束分別在兩個(gè)表面反射時(shí),將形成兩個(gè)分開的反射光束。利用這兩個(gè)分開的光束之間的角距離可以測量出平行性誤差θ。常見的平行性測量方法主要有雙像法、干涉法。干涉法可以細(xì)分成等厚干涉、等傾干涉以及干涉儀檢測等。

如今最常用的方法當(dāng)屬干涉儀檢測法（如圖2所示）。當(dāng)被測平行平板的口徑為D1,所得的干涉條紋數(shù)為N1,則條紋間隔b1=D1/N1,而干涉儀的口徑為D2,其上所得的干涉條紋數(shù)為N2,則條紋間隔b2=D2/N2,被測平行平板的折射率n=1.5,干涉光波長λ=0.6328um,則有平行平板玻璃的平行性為θ：（b1、b2單位為mm）

圖2 平行平板測量原理