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一、簡(jiǎn)介

朗奇檢驗(yàn)法是評(píng)價(jià)和測(cè)量一個(gè)光學(xué)系統(tǒng)像差的最簡(jiǎn)單、最有效的方法之一。該方法的步驟是將低頻衍射光柵（小于50線對(duì)/mm）置于被檢驗(yàn)透鏡焦點(diǎn)附近，由產(chǎn)生的不同衍射級(jí)次之間的干涉條紋形狀來(lái)評(píng)定透鏡的質(zhì)量。朗奇檢驗(yàn)的特點(diǎn)是簡(jiǎn)單，快速，成本低，不受被檢驗(yàn)元件口徑限制。光學(xué)界將這種光柵檢驗(yàn)方法命名為“朗奇檢驗(yàn)”，這種光柵成為“朗奇光柵”，所得到的檢驗(yàn)圖形稱為“朗奇圖形”。以下介紹其幾何原理。

二、幾何原理

朗奇檢驗(yàn)法實(shí)際上是直接測(cè)量橫向像差TA的方法，如圖1所示。其何原理是把條紋看做是光柵的陰影。被檢光學(xué)系統(tǒng)出射光瞳上的波像差為：

將上式改為通用形式，可得：

式中，r為出射光瞳或者被測(cè)試的表面到朗奇光柵的距離。

如果光柵的離焦量比較小，則該距離可以近似地表示為波前的曲率半徑。因此，假定一個(gè)朗奇光柵的刻線間距為d，則通?？梢允剑?/span>3）表示第m個(gè)條紋的點(diǎn)（x，y）：

其中，假定朗奇光柵刻線與y軸之間的夾角為φ，如圖2示。

圖1 朗奇檢驗(yàn)法

圖2 波前和光柵刻線的方向關(guān)系

三、初級(jí)像差的朗奇圖

1.離焦：

圖3 帶離焦的朗奇圖樣：a)焦點(diǎn)外部，b)焦點(diǎn)上，c)焦點(diǎn)內(nèi)部

2.球差：

圖4 帶球差的朗奇圖 a）近軸焦點(diǎn) b）近軸和邊緣焦點(diǎn)之間

      c）邊緣焦點(diǎn) d）焦點(diǎn)之外

3.彗差：

圖5 具有彗差的朗奇圖