光學(xué)檢測儀和激光干涉儀
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相移干涉測量軟件PhaseSight是新一代64位集成軟件包,可以配合多種相移干涉儀使用,現(xiàn)支持傳統(tǒng)的PZT移相、波長調(diào)諧移相、偏振同步移相與垂直掃描干涉法(VSI)四種模式。
軟件的主要功能是操控設(shè)備的硬件,采集多幅干涉圖,進(jìn)行相位復(fù)原、解包和數(shù)值指標(biāo)提取等一系列算法工作,可以快速復(fù)原波前并給出特定的測量結(jié)果。
軟件現(xiàn)支持相機(jī)多種分辨率,有1K,2K,4K等。
軟件具備以下分析功能:Zernike多項式系數(shù)(4項、9項、16項、25項與36項)、峰谷值(PV)、標(biāo)準(zhǔn)偏差(RMS)、Seidel系數(shù)、不規(guī)則度、功率譜密度(PSD)、光學(xué)傳遞函數(shù)(MTF)、斜率誤差(Slope Error)、平行差及楔角測量(Angle Measurement)等;