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英特飛產(chǎn)品分類
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“近紅外大口徑相移平面干涉儀”是一臺光、機、電、算相結(jié)合，融硬、軟件于一體的高精度、智能化、多功能、實時處理的大型測試儀器。

光機型干涉儀采用菲索型，光源為可調(diào)節(jié)近紅外激光器。干涉圖由近紅外CCD接收，在監(jiān)視器上實時顯示，同時輸入到圖像捕獲器轉(zhuǎn)化成8bit的數(shù)字干涉圖，工計算機處理。

儀器配有下列軟件包：（一）相移干涉技術(shù)復原波面軟件包，（二）Zernike多項式分析軟件包，（三）波面分析與評價軟件，（四）繪圖和列表輸出軟件包。還配有數(shù)字濾波分析（低通、帶通、高通）、PSD等特性參數(shù)計算、Seidel像差分析功能軟件包。

儀器規(guī)格參數(shù)表：

光源	可調(diào)諧半導體激光器λ=1055nm
類型	菲索型干涉儀
倍率	1X、2X、3X獨立變倍，或1X-6X連續(xù)變倍
精度	PV優(yōu)于λ/15（λ=1055nm）
測試重復性	1nm（1σ）
測試參數(shù)	峰谷值PV/標準方差RMS、波前梯度均方根GRMS、功率譜密度PSD、Zernike多項式系數(shù)、Seidel像差系數(shù)、點列圖、點擴散函數(shù)PSF、調(diào)制傳遞函數(shù)MTF等