光學檢測儀和激光干涉儀
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INTERFERO PRODUCTS
3.平面參考面面形精度:λ/10、λ/20 可選
儀器規(guī)格參數(shù)表:
光源
進口氦氖激光器 波長λ=632.8nm
類型
菲索型干涉儀
有效光束直徑
φ=300mm
顯示
1024×1024高分辨率、低噪音CCD、22寸液晶顯示器
精度
平面PV優(yōu)于λ/10
倍率
1-6倍
尺寸
工作腔尺寸:440×440×265mm,外形尺寸:1100×810×1630mm
電源
220V 55Hz
可選附件
英特飛移相式數(shù)據(jù)處理軟件
南京英特飛光電技術有限公司
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